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性质较稳定,熔点温度时缓慢转变为氧化物。在HF气流中加热高于1000℃时升华。微溶于水。溶于酸、碱、氨水和乙醚;不溶于乙醇。
用作氟化剂,在合成六氟化氙(XeF6)时用作催化剂,铝合金封孔剂。